DGS03质量流量控制系统
质量流量控制系统主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：微电子工艺设备、，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。系统默认配置为： MAC地址：32；RS485通信波特率：19200； 控制方式：数字。
∮主要技术参数：
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流量规格(N2) |
（0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM （0~1，2，3，5，10，20，30）SLM |
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准确度 |
±1.0% S.P . (≥35% F.S.) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.) |
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线性 |
±0. 5% F.S. |
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重复精度 |
±0.2% F.S. |
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工作压差范围（＜0.02MPa） |
0.05~0.35Mpa 流量规格≤10SLM 0.1~0.35Mpa 流量规格＞10SLM |
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温度系数 |
零点：≤±0.05FS/℃; 调节时:≤±0.1FS/℃ |
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耐压 |
3MPa |
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响应时间 |
≤2sec |
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漏率 |
1×10-10pa.m3/sec He |
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密封材料 |
氟橡胶; 氯丁橡胶 |
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工作环境温度 |
(5~45) ℃ |
